2019?光刻膠先進(jìn)技術(shù)和產(chǎn)業(yè)應(yīng)用研討會在濟(jì)南成功舉辦
光刻膠作為電子化學(xué)品中技術(shù)壁壘最高的材料,主要應(yīng)用于集成電路芯片、半導(dǎo)體分立器件、發(fā)光二極管(LED)、新型顯示、晶圓級先進(jìn)封裝、MEMS、印刷電路板(PCB)以及其他涉及到圖形轉(zhuǎn)移的制程。半導(dǎo)體領(lǐng)域,目前國內(nèi)集成電路用 i 線光刻膠國產(chǎn)化率 10% 左右,集成電路用 KrF 光刻膠國產(chǎn)化率不足 1%,ArF 干式光刻膠、 ArFi光刻膠、 EUV 光刻膠全部依賴進(jìn)口;平板顯示領(lǐng)域,目前國內(nèi)OLED、高世代TFT-LCD顯示用彩色光刻膠主要依賴進(jìn)口。為盡快推動國內(nèi)高端光刻膠產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展,避免產(chǎn)業(yè)升級受制于人,同時加強(qiáng)技術(shù)研發(fā)與交流,由中國電子材料行業(yè)協(xié)會、電子化工新材料產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟聯(lián)合主辦,中國感光學(xué)會支持,濟(jì)南圣泉集團(tuán)承辦的“2019•光刻膠先進(jìn)技術(shù)和產(chǎn)業(yè)應(yīng)用研討會”于2019年9月6日-8日在泉城濟(jì)南成功舉辦。
大會現(xiàn)場
1)開幕式
會議由中國電子材料行業(yè)協(xié)會常務(wù)副秘書長、電子化工新材料產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟秘書長魯瑾主持。濟(jì)南圣泉集團(tuán)研發(fā)副總裁唐磊到會并致辭。中國感光學(xué)會、北京化工大學(xué)聶俊教授,中國科學(xué)院大學(xué)、中國科學(xué)院化學(xué)研究所楊國強(qiáng)副校長,中國感光學(xué)會輻射固化專業(yè)委員會榮譽(yù)主任、清華大學(xué)洪嘯吟教授,江蘇南大光電材料股份有限公司許從應(yīng)副總裁,中芯國際北方集成電路創(chuàng)新中心康勁總經(jīng)理,京東方科技集團(tuán)股份有限公司趙薈鑫部長,山東大學(xué)、國家膠體材料工程技術(shù)研究中心康文兵教授,濰坊星泰克微電子材料有限公司孫遜運(yùn)董事長,默克集團(tuán)公司鄭金福產(chǎn)品開發(fā)部經(jīng)理,濟(jì)南圣泉集團(tuán)股份有限公司劉斌研發(fā)經(jīng)理,常州強(qiáng)力電子新材料股份有限公司胡春青研發(fā)總監(jiān),阜陽欣奕華材料科技有限公司黃常剛BU總經(jīng)理在會上做精彩報告。
魯瑾常務(wù)副秘書長
唐磊副總裁在致辭中指出,光刻膠在平板顯示領(lǐng)域、半導(dǎo)體加工制造領(lǐng)域、PCB領(lǐng)域是關(guān)鍵原料,而中國目前自己能生產(chǎn)的比例還極其之少,而光刻膠的原料也是短板項(xiàng)目。全球用于平板顯示、IC的光刻膠市場規(guī)模達(dá)到40億美元以上,中國市場達(dá)到90億元人民幣。中美貿(mào)易戰(zhàn),日韓貿(mào)易戰(zhàn)給中國帶來了史無前例的機(jī)遇。
唐磊副總裁
2)主題演講
聶俊教授作了題為《光聚合基礎(chǔ)與應(yīng)用》的報告。他指出,光聚合是以光為動力,讓單體迅速轉(zhuǎn)化為聚合物的聚合方法,具有反應(yīng)條件溫和、反應(yīng)速度快、沒有三廢排放、自動化程度高、產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定、節(jié)約能源的特點(diǎn),在光刻膠生產(chǎn)過程中廣泛應(yīng)用。
聶俊教授
楊國強(qiáng)副校長作了題為《超高精細(xì)光刻膠研發(fā)》的報告。他指出,半導(dǎo)體器件的工藝節(jié)點(diǎn)從10μm下降到10nm,主要是因?yàn)楣饪碳夹g(shù)的飛速發(fā)展。高檔光刻膠制造業(yè)被其他國家、地區(qū)的公司壟斷,特別是日本和美國企業(yè)在市場和專利方面處于絕對的主導(dǎo)地位。對于國內(nèi)發(fā)展現(xiàn)狀,他強(qiáng)調(diào),國內(nèi)光刻膠研發(fā)遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國內(nèi)微電子制造業(yè)水平乃至國際光刻膠研發(fā)水平,無法滿足微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求;他指出,光刻膠已經(jīng)成為了國家希望重點(diǎn)支持的基礎(chǔ)電子化學(xué)品材料,系統(tǒng)地開展高檔光刻膠研發(fā)及其生產(chǎn)工藝的研究,并有效組織相關(guān)產(chǎn)業(yè)化工作,對促進(jìn)我國自主發(fā)展極大規(guī)模集成電路制造工業(yè)具有十分重要的戰(zhàn)略意義。
楊國強(qiáng)副校長
洪嘯吟教授作了題為《光刻膠基礎(chǔ)和無顯影氣相光刻技術(shù)》的報告。他指出,多層光刻技術(shù)進(jìn)一步提高了光致抗蝕劑的分辨率,它可以克服單層光刻中存在的襯底發(fā)射產(chǎn)生的駐波、基片不平引起的漫反射、光路中的折射和衍射等問題。提出了向傳統(tǒng)挑戰(zhàn)的無顯影氣相光刻技術(shù),并指出,無顯影氣相光刻是建立在光致誘蝕劑濃度差的基礎(chǔ)之上,不需顯影、圖形分辨率高、刻蝕縱寬比高,設(shè)備簡單、操作安全。
洪嘯吟教授
康勁總經(jīng)理作了題為《集成電路工藝發(fā)展對光刻膠的技術(shù)要求》的報告。他指出,隨著IC特征尺寸深亞微米發(fā)展,現(xiàn)有光刻膠已無法適應(yīng)新的光刻工藝,光刻機(jī)的曝光波長也在由紫外光譜向極紫外光、X射線發(fā)展,甚至采用非光學(xué)光刻,光刻膠產(chǎn)品的綜合特性也必須隨之提高,才能符合集成工藝制程的要求。半導(dǎo)體用光刻膠市場,國內(nèi)企業(yè)份額不足30%,與國際先進(jìn)水平存在較大差距。超過80%市場份額掌握在日本住友、TOK、美國陶氏等公司手中,國內(nèi)公司中,蘇州瑞紅與北京科華實(shí)現(xiàn)了部分品種的國產(chǎn)化,但是整體技術(shù)水平較低,僅能進(jìn)入8英寸集成電路生產(chǎn)線與LED等產(chǎn)線。
康勁總經(jīng)理
康文兵教授作了題為《半導(dǎo)體及顯示器制造用光刻膠及周邊材料》的報告。他指出,光刻膠及周邊材料成功的關(guān)鍵在于工藝控制、環(huán)境控制和操作控制,應(yīng)具有實(shí)際應(yīng)用開發(fā)經(jīng)驗(yàn)、量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),同時供應(yīng)穩(wěn)定性及成本很重要。
康文兵教授
許從應(yīng)副總裁作了題為《先進(jìn)光刻膠現(xiàn)狀》的報告,趙薈鑫部長作了《顯示負(fù)性光刻膠現(xiàn)狀》的報告,鄭金福經(jīng)理作了題為《光刻膠技術(shù)與應(yīng)用》的報告,孫遜運(yùn)董事長作了題為《先進(jìn)封裝用光刻膠及其光刻膠技術(shù)展望》的報告,劉斌經(jīng)理作了題為《光刻膠用聚合物概述》的報告,胡春青研發(fā)總監(jiān)作了《彩色和黑色光刻膠用高感度光引發(fā)劑》的報告,黃常剛BU總經(jīng)理作了題為《欣奕華彩色光刻膠產(chǎn)品進(jìn)展》的報告,報告內(nèi)容豐富,前瞻性突出。
3)主題研討
研討環(huán)節(jié),大家暢所欲言,各抒己見。廈門天馬、中電熊貓、鼎材科技、德納化學(xué)等企業(yè)代表對下一步國內(nèi)光刻膠行業(yè)如何發(fā)展展開了熱情討論,給出了很多中肯的意見和建議,為國內(nèi)下一步光刻膠發(fā)展提供了很好的參考。
主題研討
4)參觀考察
會議第二天,與會的七十多名代表共赴圣泉集團(tuán)參觀考察。圣泉集團(tuán)目前是中國平板顯示、芯片級光刻膠、PCB油墨用配套樹脂最大的供應(yīng)商,是中國電子材料行業(yè)50強(qiáng)、電子化工材料專業(yè)10強(qiáng)企業(yè)。產(chǎn)品主要是電子級酚醛樹脂和電子環(huán)氧樹脂。目前圣泉集團(tuán)也加入了攻克國家亟需的卡脖子技術(shù)問題的陣列中,已完成5G電路板專用化學(xué)品研發(fā)工作,即將量產(chǎn)。圣泉還積極開發(fā)用于半導(dǎo)體芯片、顯示器件配套高端電子樹脂,致力于為中國電子化學(xué)品領(lǐng)域做一份貢獻(xiàn)。
圣泉參觀
結(jié)語:
本次研討會共吸引了京東方、天馬微電子、南大光電、蘇州瑞紅、北旭電子、上海新陽、阜陽欣奕華、強(qiáng)力新材、江蘇廣信等上下游企業(yè),南開大學(xué)、北科大、北師大、北化大、深圳研究所等相關(guān)高校和科研機(jī)構(gòu)共計(jì)逾90家單位,近160名代表參會,對光刻膠產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展起到了強(qiáng)有力的促進(jìn)作用。作為一個大國,我國有發(fā)展光刻膠的必要性和決心,光刻膠產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,自主創(chuàng)新才是硬道理,期待大家攜手做強(qiáng)光刻膠產(chǎn)業(yè)。最后衷心感謝中國感光學(xué)會和濟(jì)南圣泉集團(tuán)對本次大會的鼎力支持。
(本文轉(zhuǎn)自:電子化工新材料產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟)